[发明专利]一种半导体芯片生产用接触式光刻机

摘要

本发明公开了一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底板、限制板和卡板，所述底板上方中间固定安装有第一固定轴，且第一固定轴上方设置有第一活动轴，并且第一活动轴的上方设置有层板，所述层板下方一侧设置有第一活动杆，且第一活动杆下方设置有第一导杆，并且层板上方活动安装有本体，所述限制板设置于底板上端一侧，所述底板上方边侧设置有限制块，且限制块内部贯穿有固定螺钉，所述限制板一侧预留有卡槽，且限制板下方设置有燕尾块，所述底板上端预留有燕尾槽，所述层板上方中间设置有第二活动杆，且第二活动杆上方设置有第二导杆，并且第二活动杆外端包裹有弹簧。该导体芯片生产用接触式光刻机，具有固定稳定和减震的效果。

主权项

1.一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底板(1)、限制板(4)和卡板(10)，其特征在于：所述底板(1)上方中间固定安装有第一固定轴(2)，且第一固定轴(2)上方设置有第一活动轴(3)，并且第一活动轴(3)的上方设置有层板(17)，所述层板(17)下方一侧设置有第一活动杆(6)，且第一活动杆(6)下方设置有第一导杆(5)，并且层板(17)上方活动安装有本体(9)，所述限制板(4)设置于底板(1)上端一侧，所述底板(1)上方边侧设置有限制块(7)，且限制块(7)内部贯穿有固定螺钉(8)，所述卡板(10)设置于本体(9)一侧，所述限制板(4)一侧预留有卡槽(11)，且限制板(4)下方设置有燕尾块(12)，所述底板(1)上端预留有燕尾槽(13)，所述层板(17)上方中间设置有第二活动杆(14)，且第二活动杆(14)上方设置有第二导杆(15)，并且第二活动杆(14)外端包裹有弹簧(16)，所述第一活动轴(3)的内部设置有气缸(18)。