[发明专利]一种石墨烯-纳米锌铜合金核壳结构导电材料的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810569538.2 申请日: 2018-06-05
公开(公告)号: CN108788134A 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 张燕萍;赵志国 申请(专利权)人: 上海利物盛企业集团有限公司
主分类号: B22F1/02 分类号: B22F1/02;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/16;C23C16/26;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 代理人: 顾兰芳
地址: 200444 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种石墨烯‑纳米锌铜核壳结构导电薄膜材料的制备方法。该方法利用直流磁控溅射系统制备锌薄膜和铜薄膜,并先后经过高温退火处理,使得铜包覆锌并形成纳米合金颗粒。再采用等离子体增强化学气相沉积方法,将石墨烯生长并包覆于铜锌合金颗粒表面,形成核壳结构薄膜材料。该材料中石墨烯不仅有效地保护铜锌核不受空气氧化和腐蚀,还协同两者优异的导电性,结合集流体与导电膜于一体,可广泛应用于导电及电发热基材。
搜索关键词: 石墨烯 制备 核壳结构 纳米锌 等离子体增强化学气相沉积 直流磁控溅射系统 导电薄膜材料 铜锌合金颗粒 导电性 薄膜材料 导电材料 发热基材 高温退火 空气氧化 纳米合金 导电膜 集流体 壳结构 铜薄膜 铜合金 锌薄膜 有效地 导电 包覆 铜包 铜核 铜锌 腐蚀 协同 生长 应用
【主权项】:
1.一种石墨烯‑纳米锌铜合金核壳结构导电材料的制备方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一、采用直流磁控溅射系统在衬底上制备锌薄膜;步骤二、将锌薄膜进行高温退火处理,过程中锌薄膜形成球状锌颗粒;步骤三、采用直流磁控溅射系统,在经退火处理的锌颗粒表面沉积铜薄膜;步骤四、将附有铜薄膜的复合材料进行高温退火处理,过程中准液态的铜薄膜发生迁移,并包覆于纳米锌颗粒表面;步骤五、采用等离子体增强化学气相沉积系统,在含衬底的纳米锌铜颗粒表面沉积石墨烯,并包覆于纳米锌铜颗粒表面,制备得到石墨烯‑纳米锌铜核壳结构导电薄膜材料。
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