[发明专利]一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法有效
| 申请号： | 201810569823.4 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108723985B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张晓宇;石煜;王志强;曾探 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。本发明提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 圆筒 外侧 研磨 定位 支撑 工装 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。
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