[发明专利]一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统在审
| 申请号： | 201810570346.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108593018A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张鸿泉;李明;张盼;祁超;庞永超 | 申请（专利权）人： | 润电能源科学技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/36 | 分类号： | G01F1/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统，用于可现场方便且准确地测量真空泵抽气量。本申请提供的真空泵抽气量测量系统，包括真空泵的排气管道、测量管道以及气体流量计；测量管道从排气管道引出，排气管道在测量管道的接口位置之后设有第一阀门，测量管道设有第二阀门，测量管道在第二阀门之后设有气体流量计，通过在真空泵的排气管道上引出测量管道，以及调整排气管道上第一阀门以及测量管道上第二阀门的通断状态，在测量管道由气体流量计进行真空泵抽气量的测量，该设置不仅可保证真空泵的正常排气，避免现有技术中排气管道阻力大和堵塞的风险，带来测量精度高、人工操作方便、经济成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 测量管道 排气管道 真空泵抽气量 真空泵 阀门 气体流量计 测量系统 真空系统 测量 测量精度高 接口位置 经济成本 人工操作 通断状态 排气 申请 堵塞 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵抽气量测量系统，其特征在于，所述真空泵抽气量测量系统包括真空泵的排气管道、测量管道以及气体流量计；所述测量管道从所述排气管道引出，所述排气管道在所述测量管道的接口位置之后设有第一阀门，所述测量管道设有第二阀门，所述测量管道在所述第二阀门之后设有所述气体流量计。
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