[发明专利]对EFEM机器人进行编程的方法及其自动教学元件在审
| 申请号： | 201810570723.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN109388108A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李建法;刘旭水;白峻荣;郭守文 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G09B25/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及一种对EFEM自动重新编程以解决EFEM机器人的位置变化的方法。在一些实施例中，通过确定EFEM室内的EFEM机器人的初始位置来实施该方法。初始位置处的EFEM机器人沿着第一多个步进进行移动，其中，第一多个步进相对于初始位置被限定并且沿着第一位置和第二位置之间的路径延伸。确定位置参数，其中，位置参数描述EFEM机器人的初始位置和与初始位置不同的新位置之间的变化。基于位置参数确定第二多个步进。新位置处的EFEM机器人沿着第二多个步进进行移动，其中，第二多个步进相对于新位置被限定并且沿着第一位置和第二位置之间的路径延伸。本发明的实施例还涉及一种设备前端模块(EFEM)自动教学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 机器人 步进 第二位置 第一位置 路径延伸 位置参数 自动教学 设备前端模块 参数确定 基于位置 位置变化 重新编程 位置处 移动 编程 室内 | ||
【主权项】：
1.一种对设备前端模块(EFFM)机器人编程的方法，包括：确定设备前端模块机器人在设备前端模块室内的初始位置，其中，位于所述初始位置处的所述设备前端模块机器人配置为沿着第一多个步进移动，其中，所述第一多个步进相对于所述初始位置被限定并且沿着位于第一位置和第二位置之间的路径延伸；确定描述所述设备前端模块室内的所述设备前端模块机器人的初始位置和与所述初始位置不同的新位置之间的变化的位置参数；以及基于所述位置参数确定第二多个步进，其中，在所述新位置处的所述设备前端模块机器人配置为沿着所述第二多个步进移动，其中，所述第二多个步进相对于所述新位置被限定并且沿着位于所述第一位置和所述第二位置之间的所述路径延伸。
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