[发明专利]连接元件与光刻系统的运动机构有效
| 申请号： | 201810570888.0 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110568728B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 管博然;纪俊洋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 元件 光刻 系统 运动 机构 | ||
【主权项】：
1.一种连接元件，其特征在于，连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和至少一个线型槽，所述线型槽贯穿所述柔性元件本体。/n
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