[发明专利]一种纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810575953.9 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN108930021B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王启民;梅海娟;王瑞;张腾飞 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于刀具涂层和表面防护涂层制备技术领域，公开了一种纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层及其制备方法和应用。该涂层由下到上包括衬底基体、Cr轰击植入层、CrN过渡层以及纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层；纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层是由调制比为2:1的AlTiN中间层与AlTiVCuN中间层交替沉积而成，调制周期为0.5～2nm。本发明通过结合纳米多层与纳米复合结构来设计多层多元纳米复合自润滑硬质涂层，并采用阳极层离子源辅助双极脉冲磁控溅射沉积技术制备出的多层多元纳米复合涂层，具有表面光滑、硬度高、以及摩擦系数低，大大提高自润滑硬质涂层的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多层 altin altivcun 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层，其特征在于：该涂层由下到上包括衬底基体、Cr轰击植入层、CrN过渡层以及纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层；纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层是由调制比为2:1的AlTiN中间层与AlTiVCuN中间层交替沉积而成，调制周期为0.5～2nm；纳米多层AlTiN/AlTiVCuN涂层中各元素的原子百分比含量：Al 25～27at.％，Ti 11～13at.％，V 5～6at.％，Cu 1～2at.％，N 53～55at.％。
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