[发明专利]一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法及其装置有效
| 申请号： | 201810578298.2 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN108682620B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 张元秋;杨蕾;洪布双;谢耀辉;王岚 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 53113 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人： | 杨俊达 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，包括以下步骤：S1、加装平板；S2、安装感应器；S3、感应器报警。一种改善滚轮带液刻蚀过刻的装置，包括滚轮带液刻蚀设备，所述滚轮下方设置有平板，所述平板与滚轮相互贴合；所述平板上平行设置有多组安装槽，所述安装槽与滚轮相互垂直，且安装槽与滚轮连接处设置有感应器，所述感应器包括电性连接的按钮开关和报警器，所述按钮开关与滚轮活动连接。本发明的装置配合着改善过刻的方法，能够有效避免由于滚轮不平造成的过刻，减少由于刻蚀过程中过刻造成效率降低情况，以及过刻造成的外观不良情况，可以实时进行过刻情况的检测，实用性强，非常值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 滚轮 感应器 滚轮带 安装槽 刻蚀 按钮开关 报警器 电性连接 滚轮连接 活动连接 刻蚀过程 刻蚀设备 平行设置 效率降低 装置配合 加装 贴合 不平 垂直 报警 检测 | ||
【主权项】：
1.一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、加装平板(3)：在滚轮带液刻蚀设备(1)的滚轮(2)下加装一个平板(3)，所述平板(3)中开设有若干孔洞(31)，且滚轮(2)与平板(3)相互贴合；/nS2、安装感应器(5)：在平板(3)与滚轮(2)贴合处设置有感应器(5)，且感应器(5)安装于平板(3)上；/nS3、感应器(5)报警：若滚轮(2)未与平板(3)贴合，则感应器(5)发出报警信号。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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