[发明专利]金刚石膜-铜复合散热片的制备方法

摘要

本发明为一种金刚石膜‑铜复合散热片的制备方法，解决了金刚石无法以高结合强度的膜层直接在铜表面沉积，而现有焊接法制备金刚石膜‑铜复合散热片时，对金刚石厚度要求高，且需要研磨抛光处理，操作复杂，生产周期长和成本高等问题。本发明通过在硅基片表面沉积金刚石薄膜，然后将金刚石膜/硅基片整体与铜进行钎焊，最后再去除硅基片，获得金刚石‑铜复合散热片。本发明沉积金刚石膜的厚度为50‑300μm即可满足散热片的制备及应用需求，同时不需要对金刚石膜进行抛光处理，能大幅降低散热片的制备周期和成本，同时操作也更加方便。此外，采用未抛光的金刚石直接进行焊接处理，有利于在金刚石膜和铜片间获得较高的焊接强度。

主权项

1.一种金刚石膜‑铜复合散热片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）采用化学气相沉积法在抛光后的硅基片上制备一层金刚石膜；2）将沉积了金刚石膜的硅基片整体与铜片进行钎焊处理；3）使用耐腐蚀胶将铜片封装并晾干；4）使用酸溶液将硅基片腐蚀掉，然后去除耐腐蚀胶层，即获得金刚石膜‑铜复合散热片。