[发明专利]一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法

摘要

一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，本发明属于探测器领域，它要解决现有二维位置灵敏探测器的电极作用单一，相邻电极间空隙大的问题。制备方法：一、将单晶CVD金刚石置于沸腾的混酸浴内处理，得到清洗后的金刚石；二、将掩膜板固定在金刚石的表面，金刚石的背面粘贴在玻璃片上；三、金刚石置于真空磁控溅射镀膜系统内，采用磁控溅射沉积金电极，沉积生长四个圆心角为90°扇形结构的金电极；四、分离掩膜板；五、将镀有金电极的金刚石固定在焊盘上，电极分别用导线与pcb焊盘上条形电极连接。本发明制备了一种新型金刚石位置灵敏探测器，具有电极结构简单、电极面积大、电极间空隙小以及粒子束透过率高等优点。

主权项

1.一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于该方法是按下列步骤实现：一、将单晶CVD金刚石置于沸腾的混酸浴内处理30～60min，然后依次在去离子水、无水乙醇和丙酮里分别超声清洗5～30min，得到清洗后的金刚石；二、将具有四个圆心角为90°扇形结构的不锈钢掩膜板固定在清洗后的金刚石的表面，四个圆心角为90°扇形结构形成圆形，清洗后的金刚石的背面粘贴在玻璃片上，得到带有玻璃片的金刚石；三、将Au靶安装至磁控溅射靶上，将步骤二得到的带有玻璃片的金刚石置于真空磁控溅射镀膜系统内的加热台上，启动真空系统将真空仓内抽成真空，使得真空度为1.0×10‑4～8.0×10‑4Pa，采用磁控溅射法，在Ar气氛的保护下，控制Ar气流量为10～30sccm，控制溅射功率为30～50W进行沉积金电极，沉积生长有四个圆心角为90°扇形结构的金电极，得到溅射有电极的金刚石；四、将不锈钢掩膜板从溅射有电极的金刚石上分离下来，得到镀有金电极的金刚石；五、将镀有金电极的金刚石固定在焊盘上，四个金电极分别用导线与焊盘上的四个条形电极连接，得到具有四电极的二维平面结构的金刚石位置灵敏探测器。