[发明专利]一种主动式气浮轴承在审
| 申请号： | 201810583779.2 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110578750A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 于普良;胡江山;李双 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430081 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合节流主动调控的气浮轴承装置，包括气浮轴承本体和复合节流控制单元，其中气浮轴承本体由上本体、中本体和下本体三部分构成，复合节流控制单元主要由位移传感器、控制单元、驱动单元和检测单元四部分组成，控制单元根据检测单元和位移传感器的信号生成控制信号，驱动单元依据控制信号产生伸缩运动，动态调节气浮轴承复合节流的节流高度和节流面积，达到改变气膜间隙压强分布的目的，从而提高气浮轴承承载力和动刚度特性。本发明不仅可以有效抑制气浮轴承的微幅振动，而且可以显著提高气浮轴承承载力和动刚度等动力学特性，实现气浮轴承的高稳定性；此外，按照本发明的主动式气浮轴承具有结构紧凑，易于控制和高精度等优点，因此尤其适用于超精密制造和微电子制造等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮轴承 节流 复合 位移传感器 节流控制 驱动单元 承载力 动刚度 控制信号产生 动力学特性 微电子制造 压强 动态调节 高稳定性 控制信号 气膜间隙 伸缩运动 微幅振动 信号生成 有效抑制 超精密 上本体 下本体 中本体 主动式 检测 调控 制造 | ||
【主权项】：
1.一种主动式气浮轴承，包括气浮轴承本体（9a、9b、9c）、气浮轴承本体分为上本体（9a）、复合节流结构单元（9b）和下本体（9c）三部分，复合节流主动调节单元（3、4），驱动控制单元（8a），其特征在于：气浮轴承的上本体（9a）中央区域设有上腔室（2），通过节流小孔（5）与均压腔（11）相连，气浮轴承下本体（9c）中央区域设有下腔室（7），下腔室通过节流狭缝（10）与均压腔（11）相连。/n
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