[发明专利]一种具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法

摘要

本发明涉及一种具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法，该类倒棱台绒面结构棱数为3到10棱之间；倒棱台两底面呈近似圆形或椭圆形，或方边圆弧结合；孔底部棱台面与硅片表面的夹角范围在0°‑90°之间；此结构尺寸均匀、孔径为400nm~1.5mm、孔深200~500nm；制备方法是：（1）多晶硅硅片表面损伤层去除；（2）黑硅制作；（3）多晶硅硅片表面修正：黑硅表面修正、水洗后，浸入10%‑45%双氧水和1%‑10%添加剂的混合溶液中，在多晶硅硅片表面制得‘类倒棱台’结构；该结构更易于钝化，硅片表面更均匀，能够进一步降低反射率，大大提高太阳能电池的效率。

主权项

1.具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片的制绒方法，所述具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片,具有以下特征：（1）棱数为3到10棱之间；（2）倒棱台两底面呈近似圆形或椭圆形，或方边圆弧结合；（3）孔底部棱台面与硅片表面的夹角范围在0°‑90°之间；（4）此结构尺寸均匀、孔径为400nm~1.5mm、孔深200~500nm；在多晶硅硅片表面上，所述的类倒棱台绒面结构是随机分布的，并相互之间有叠加；其特征在于，包括如下步骤：步骤一、多晶硅硅片表面损伤层去除：用碱抛法或者酸抛法去除多晶硅硅片表面损伤层；步骤二、黑硅制作：采用金属离子辅助刻蚀法进行黑硅制作；步骤三、多晶硅硅片表面修正：将上制的黑硅进行表面修正、水洗后，浸入10%‑45%双氧水和1%‑10%添加剂的混合溶液中，在多晶硅硅片表面制得类倒棱台结构；所述的添加剂为聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸钠、十八烷基二甲基胺乙内酯的混合物；步骤四、多晶硅硅片的清洗与烘干。