[发明专利]被加工物的切削方法

摘要

提供被加工物的切削方法，抑制正面缺损的产生，防止在外周剩余区域形成端材芯片。板状的被加工物在正面上具有在由交叉的多条分割预定线划分的多个区域分别形成有器件的器件区域和围绕器件区域的外周剩余区域，该方法在被加工物的器件区域形成期望深度的切削槽，具有如下步骤：引导槽形成步骤，使切削刀具从被加工物的外周沿着分割预定线切入至卡盘工作台所保持的被加工物，在从外周到器件区域的一部分的范围内形成比期望深度浅的引导槽；和器件区域加工步骤，使切削刀具朝向器件区域的引导槽下降而切入引导槽，将切削刀具的刃尖定位于期望深度，然后沿着分割预定线超过器件区域的相反侧的端部而在外周剩余区域的一部分的范围内形成期望深度的槽。

主权项

1.一种被加工物的切削方法，在板状的被加工物的器件区域形成期望的深度的切削槽，该板状的被加工物在正面上具有该器件区域和围绕该器件区域的外周剩余区域，该器件区域在由交叉的多条分割预定线划分的多个区域中分别形成有器件，该被加工物的切削方法的特征在于，具有如下的步骤：保持步骤，利用卡盘工作台的保持面对被加工物进行保持；引导槽形成步骤，使切削刀具从被加工物的外周沿着该分割预定线切入至该卡盘工作台所保持的被加工物，在从该外周到该器件区域的一部分的范围内形成比该期望的深度浅的引导槽；第一退避步骤，在形成了该引导槽之后，使该切削刀具上升而使该切削刀具从被加工物退避；器件区域加工步骤，在实施了该第一退避步骤之后，使该切削刀具朝向该器件区域的该引导槽下降而切入至该引导槽，将该切削刀具的刃尖定位于该期望的深度，然后沿着该分割预定线超过该器件区域的相反侧的端部而在该外周剩余区域的一部分的范围内形成该期望的深度的槽；以及第二退避步骤，在实施了该器件区域加工步骤之后，留出该外周剩余区域的一部分而使该切削刀具上升，从而使该切削刀具从被加工物退避，当在该器件区域加工步骤中使该切削刀具朝向被加工物下降而切入时，通过该引导槽来抑制在被加工物的正面上产生缺损。