[发明专利]基板处理设备在审
| 申请号： | 201810588738.2 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109037018A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 文商珉 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种基板处理设备。该基板处理设备包括：卡盘，其被构造为在被供应工艺气体的腔室的处理空间中支撑基板；以及围绕卡盘的环组件，该环组件包括内环、围绕该内环定位的外环以及驱动器，内环被定位成使得内环的一部分围绕由卡盘支撑的基板的外侧，驱动器被构造成使外环上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 内环 基板处理设备 卡盘 驱动器 环组件 基板 供应工艺气体 处理空间 上下移动 中支撑 腔室 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理设备，包括：卡盘，所述卡盘用于在被供应工艺气体的腔室的处理空间中支撑基板；和围绕所述卡盘的环组件，其中所述环组件包括：内环，所述内环定位成使得所述内环的一部分围绕由所述卡盘支撑的所述基板的外侧；围绕所述内环定位的外环；和驱动器，所述驱动器使所述外环上下移动。
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