[发明专利]氧化炉

摘要

本发明提供一种氧化炉，其包括：炉腔，该炉腔包括由上而下依次划分的工艺区、隔热区、燃烧区和保温区；工艺舟，设置在工艺区，用于承载被加工工件；进气管路，用于输送工艺气体，且进气管路的出气口位于燃烧区，进气管路的进气口自炉腔的底部延伸出去；隔热结构，设置在隔热区，且隔热结构使隔热区形成进气通道，以供燃烧区中的气体通过后流入工艺区；保温结构，设置在保温区，且环绕在所述进气管路外周。本发明提供的氧化炉，其可以节省设备空间、降低设备成本，以及可以提高气流的稳定性。

主权项

1.一种氧化炉，其特征在于，包括：/n炉腔，所述炉腔包括由上而下依次划分的工艺区、隔热区、燃烧区和保温区；/n工艺舟，设置在所述工艺区，用于承载被加工工件；/n进气管路，用于输送工艺气体，且所述进气管路的出气口位于所述燃烧区，所述进气管路的进气口自所述炉腔的底部延伸出去；/n隔热结构，设置在所述隔热区，且所述隔热结构使所述隔热区形成进气通道，以供所述燃烧区中的气体通过后流入所述工艺区；/n保温结构，设置在所述保温区，且环绕在所述进气管路外周。/n