[发明专利]一种八面超高真空腔体在审
| 申请号： | 201810594166.9 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN108560045A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 何亮;许焕峰;杜强强;邹文琴;刘文卿;徐高翔;徐永兵 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种八面超高真空腔体。包括超高真空主腔室；所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工，真空腔室的形状是八棱柱形，在确保腔室的机械强度情况下，实现了腔室的8个侧面8‑16个法兰接口，不锈钢棒加工成八棱柱形式，在八棱柱内镗出圆柱形空腔，将八棱柱上下两个面加工为法兰；腔室主体成型后，在其八棱柱的每个腔壁分别镗一或二个孔，孔直接制备法兰接口或焊接法兰。实现腔室的16个侧面法兰接口，能够很方便地观察到腔室内的情况，其真空度及对称性完全可以达到MBE生长腔室的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 八棱柱 超高真空腔 腔室 法兰接口 整体机械加工 圆柱形空腔 八棱柱形 不锈钢棒 侧面法兰 超高真空 焊接法兰 腔室主体 生长腔室 真空腔室 直接制备 面加工 主腔室 法兰 腔壁 不锈钢 成型 室内 侧面 观察 加工 | ||
【主权项】：
1.一种八面超高真空腔体，其特征是包括超高真空主腔室；所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工，由锈钢棒加工成八棱柱形式，在八棱柱内镗出圆柱形空腔；将八棱柱上下两个面加工为法兰；真空腔室的形状是八棱柱形；真空腔室的八棱柱形的8个侧面设有8‑16个法兰接口；腔室主体成型后，在其八棱柱的每个侧面作为腔壁，腔壁上分别镗一或二个孔，孔直接制备法兰接口或焊接法兰。
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