[发明专利]一种工作频率可调的非制冷型太赫兹探测器

摘要

本发明公开了一种工作频率可调的非制冷太赫兹探测器。该太赫兹探测器由金属‑介质‑金属结构和衬底组成，自上而下包括金属微结构、介质腔层、金属薄膜层、匹配层和柔性衬底层。介质腔层的厚度和金属微结构的尺寸和形状可以调节太赫兹探测器的探测频率。这种太赫兹探测器无需额外的吸收材料，无需制冷，良好的绝热性能，偏振可选择等突出性能优势；且具有结构简单、易于大面积制备、波长可调、柔性可弯曲等一系列优点，在太赫兹信号探测上有良好的应用前景。

主权项

1.一种工作频率可调的非制冷太赫兹探测器，包括金属微结构(1)、介质腔层(2)、匹配层(3)、金属薄膜层(4)和柔性衬底层(5)，其特征在于：器件的结构为：自上而下依次是金属微结构(1)、介质腔层(2)、匹配层(3)、金属薄膜层(4)、柔性衬底层(5)；或者是金属微结构(1)、介质腔层(2)、金属薄膜层(4)、柔性衬底层(5)；金属微结构(1)兼做上电极，金属薄膜层(4)用作下电极；所述的金属微结构(1)的材料是金、银、铜、铝、钨、钽、或铼，微结构的形状是条形光栅、圆形孔、方形孔、多边形或十字形，厚度为30‑50nm；所述的介质腔层(2)是聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯二元聚合物、聚偏氟乙烯三元聚合物、钛酸锶钡、锆钛酸铅或氧化锌薄膜，介质腔层的厚度利用时域有限差分方法、边界元或有限元方法通过仿真设计确定；所述的匹配层(3)是铬、钛或镍层，厚度为5‑10nm；所述的金属薄膜层(4)的材料是金、银、铜、铝、钨、钽、或铼，其厚度大于辐射源向金属内入射的穿透深度，为100‑150nm；所述的柔性衬底层(5)是无粘性的聚酰亚胺薄膜，厚度为5‑10μm。