[发明专利]一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置有效
| 申请号： | 201810600483.7 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108918095B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李文斌;邢裕杰;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N23/00;G01N21/55 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，包括软X射线光源组件、软X射线起偏腔室组件、360°旋转组件、真空组件、狭缝组件、软X射线光强监测组件、样品腔室组件和探测组件，通过对紧凑型结构、固定方式和线偏振软X射线光强监测机构的设计，搭建了360°范围线偏振方向可调的软X射线光学元件偏振检测平台。与现有技术相比，本发明具有结构简单、紧凑、便于安装调试、精度高等优点，适用于在实验室内开展光学元件软X射线偏振特性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 桌面 射线 波段 光学 元件 偏振 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，其特征在于，包括：软X射线光源组件(1)，用于产生软X射线光束；软X射线起偏腔室组件(2)，与软X射线光源组件(1)连接，用于对所述软X射线光束进行起偏；360°旋转组件(3)，与软X射线起偏腔室组件(2)连接，用于驱动所述软X射线起偏腔室组件(2)旋转，以获得不同偏振方向的线偏振X射线；真空组件(4)，与360°旋转组件(3)连接，用于使装置内部产生真空环境；狭缝组件(5)，与真空组件(4)连接，用于对所述线偏振X射线进行准直；软X射线光强监测组件(6)，与狭缝组件(5)连接，用于对经准直后的线偏振X射线进行光强监测；样品腔室组件(7)，与软X射线光强监测组件(6)连接，用于放置对经准直后的线偏振X射线进行反射的反射镜样品(702)；探测组件(8)，与样品腔室组件(7)连接，用于探测经反射镜样品(702)反射后线偏振X射线的光强。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810600483.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
