[发明专利]一种生长钙钛矿薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201810601754.0 申请日: 2018-06-12
公开(公告)号: CN108847455A 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 邓金祥;李瑞东;陈亮 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种生长钙钛矿薄膜的方法,属于功能薄膜制备领域。升华PbI2材料,终端设置合适的PbI2生长温度。PbI2沉积完成后,该区加热源迅速降温。升华CH3NH3I,终端设置合适的CH3NH3I生长温度。使CH3NH3I的沉积区恰好与PbI2的沉积区重合。CH3NH3I与PbI2反应生成CH3NH3PbI3薄膜。利用化学气相沉积法制备了CH3NH3PbI3薄膜,丰富了制备CH3NH3PbI3薄膜的方法。
搜索关键词: 薄膜 生长 钙钛矿薄膜 终端设置 沉积区 制备 化学气相沉积 升华 功能薄膜 迅速降温 加热源 重合 沉积
【主权项】:
1.一种生长钙钛矿薄膜的方法,其特征在于,采用的装置为:一个空腔,空腔内底部独立放置优选依次放置有CH3NH3I、PbI2、衬底;CH3NH3I、PbI2和衬底所在的底部或位置均能控温,空腔相对的两侧面开有孔,用于通入惰性气体如氩气作为载气体,使得气体经过CH3NH3I、PbI2到达衬底,即衬底作为终端;具体制备方法包括以下步骤:(1)将衬底如利用ITO玻璃作为衬底,依次在甲苯、丙酮、乙醇以及去离子水中超声清洗后放入手套箱中干燥1小时备用;将清洗后的衬底、PbI2材料、CH3NH3I材料放在所述的装置中;(2)采用PbI2材料所在的底部或位置的热源升华PbI2材料,衬底所在的终端设置合适的PbI2生长温度150‑250℃,PbI2沉积完成后,该衬底所在的终端热源和PbI2材料所在的底部或位置的热源迅速降温;(3)采用CH3NH3I材料所在的底部或位置的热源升华CH3NH3I材料,衬底所在的终端设置合适的CH3NH3I生长温度50‑100℃;使CH3NH3I沉积到步骤(2)的PbI2沉积区上,CH3NH3I与PbI2反应生成CH3NH3PbI3薄膜。
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