[发明专利]一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法有效
| 申请号： | 201810602746.8 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108896235B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;张国栋;赵云;韦学勇;王馨晨;任炜;张蕊;张方;李慧 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器及其制造方法,复合式超高压力传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及其对应的四个第一电极，以及康铜敏感元件及其对应的四个第二电极，锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极，康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极，锰铜敏感元件、康铜敏感元件、第一电极、第二电极的表面上覆盖有绝缘层；锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用螺旋式中心对称分布，基底和绝缘层均采用聚酰亚胺材料；本发明复合式超高压力传感器具有精度高、响应快、输出信号大等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 柔性 复合 超高 压力传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器,包括基底(2),其特征在于：基底(2)上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件(3)及其对应的四个第一电极(1)，以及康铜敏感元件(5)及其对应的四个第二电极(6)，锰铜敏感元件(3)的输入端和输出端分别连接两个第一电极(1)，康铜敏感元件(5)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(6)，锰铜敏感元件(3)、康铜敏感元件(5)、第一电极(1)、第二电极(6)的表面上覆盖有绝缘层(4)；所述的锰铜敏感元件(3)和康铜敏感元件(5)采用螺旋式中心对称分布，通过靶材溅射而成，锰铜敏感元件(3)和康铜敏感元件(5)共占面积在直径0.2mm圆形范围内，厚度为1μm。
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