[发明专利]一种激光二极管及其制备方法有效
申请号: | 201810606843.4 | 申请日: | 2018-06-13 |
公开(公告)号: | CN108923257B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 雷双瑛;郭斯佳;沈海云 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01S5/32 | 分类号: | H01S5/32;H01S5/34 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光二极管及其制备方法,所述二极管由下至上依次包括:下电极(1)、衬底(2)、下包覆层(3)、有源层(4)、上包覆层(5)和上电极(6);其制备方法如下:1)在干净的硅衬底(2)上表面沉积下包覆层(3);2)在下包覆层(3)上表面沉积有源层(4);3)在有源层(4)上表面沉积上包覆层(5);4)在上包覆层(5)上表面蒸镀一层金属层,作为上电极(6);在硅衬底(2)的下表面蒸镀一层金属层,作为下电极(1)。该激光二极管具有氮化硼‑八磷化二钾异质结,不仅表现出较高的效率,而且其结构稳定,工作时间长,不易退化失效,制备工艺更简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光二极管,其特征在于:该激光二极管含有氮化硼‑八磷化二钾异质结,其结构包括硅衬底(2),在硅衬底(2)的上表面设置有下包覆层(3),包覆层(3)的上表面沉积有有源层(4),有源层(4)上表面沉积有上包覆层(5),在上包覆层(5)的上表面蒸镀金属层作为上电极(6),在硅衬底(2)的下表面蒸镀有金属层作为下电极(1)。
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