[发明专利]处理装置及自动处理方法有效
| 申请号： | 201810608694.5 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN108942205B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 高木忠雄;百濑智宣;宫川孝文;猪股克幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23P21/00 | 分类号： | B23P21/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 自动处理装置具有：多个处理装置，其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理；载置台，其将光学装置与固定光学装置的托盘一体地载置；臂式机器人，其从载置台将光学装置与托盘一体地提升，并将光学装置与托盘一体地相对于多个处理装置依次轮换，使完成了规定处理的光学装置与托盘一体地返回载置台。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 自动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种处理装置，其特征在于，具有：处理部，其对具有供光束进入的开口的光学装置进行规定处理；和臂，其将所述光学装置与固定有所述光学装置的固定台一体地提升，并将所述光学装置与所述固定台一体地对所述处理部安装，将完成了所述规定处理的所述光学装置与所述固定台一体地从所述处理部拆下。
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