[发明专利]共焦位移传感器

摘要

提供一种能够改善设置头单元时的可作业性的共焦位移传感器。共焦位移传感器包括：包括共焦光学系统的头单元；包括投光用光源的控制装置；包括用于使从投光用光源出射的光传送到头单元的光纤的光纤线缆。头单元包括光学构件，该光学构件被构造为在经由光纤的端面出射的检测光中引起轴向色像差并且使检测光朝向测量对象会聚。控制装置包括：分光器，其被构造为在经由光学构件照射到测量对象的检测光中使聚焦于测量对象时被反射而穿过光纤的端面的检测光光谱分散并产生受光信号；以及测量控制部，其被构造为基于受光信号计算测量对象的位移。头单元包括显示部。测量控制部使用控制装置的操作状态、受光波形或位移的测量值控制显示部的显示。

主权项

1.一种共焦位移传感器，其包括：头单元，其包括共焦光学系统；控制装置，其包括投光用光源，所述投光用光源被构造为产生具有多个波长的光；以及光纤线缆，其包括用于将从所述投光用光源出射的光传送到所述头单元的光纤，所述头单元包括光学构件，所述光学构件被构造为在经由所述光纤的端面出射的检测光中引起轴向色像差并且使所述检测光朝向测量对象会聚，并且所述控制装置包括：分光器，其被构造为在经由所述光学构件照射于所述测量对象的所述检测光中使通过在聚焦于所述测量对象的同时被反射而穿过所述光纤的端面的检测光光谱分散，并且产生受光信号；以及测量控制部，其被构造为基于所述受光信号计算所述测量对象的位移，其中，所述头单元包括显示部，并且所述测量控制部基于以所述控制装置的至少一个操作状态、代表各波长的受光强度的受光波形和所述位移的测量值为基础的演算结果控制所述显示部的显示。