[发明专利]一种具有缓冲工艺气体的基座

摘要

本发明提供一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板、外圆筒、内圆筒、顶板和圆筒卡板底板的顶端固定连接有外圆筒和内圆筒，顶板的底端固定连接圆筒卡板，密封装置包括圆形卡块、圆形弹性板和圆形的凹陷弹性片，圆形卡块的圆形槽、圆形弹性板和凹陷弹性片之间组成密封空腔室。本发明结构设计新颖，操作简单，能够改变工艺气体储存的体积而进行高效缓冲工艺气体，此基座也能适用各种工艺气体的设备固定；利用卡位槽，实现圆筒卡板在卡位槽内的卡接，以便于调节顶板到底板之间的距离，进而增大内圆筒和圆筒卡板之间的密封体积，以达到高效缓冲的作用；利用密封装置，能够保证圆筒卡板在卡接的同时，且能够密封此装置。

主权项

1.一种具有缓冲工艺气体的基座，包括底板（1）、外圆筒（10）、内圆筒（11）、顶板（2）和圆筒卡板（20），所述顶板（2）的顶端中间开设有喷气孔（21），其特征在于：所述底板（1）的顶端固定连接有外圆筒（10）和内圆筒（11），且内圆筒（11）穿插在外圆筒（10）的内腔中，所述外圆筒（10）的侧壁上开设有若干个螺纹通孔（100），所述顶板（2）的底端固定连接圆筒卡板（20），所述圆筒卡板（20）的外侧壁上开设有多个螺纹槽（200），所述外圆筒（10）的内侧壁和内圆筒（11）的外侧壁之间组成卡位槽（12），所述卡位槽（12）的底端固定卡接有密封装置（3），所述密封装置（3）包括圆形卡块（30）、圆形弹性板（31）和圆形的凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的顶端中间开设有圆形槽（34），所述圆形卡块（30）的顶端通过圆形弹性板（31）固定连接凹陷弹性片（32），所述圆形卡块（30）的圆形槽（34）、圆形弹性板（31）和凹陷弹性片（32）之间组成密封空腔室（33），所述圆筒卡板（20）的底端挤压接触卡位槽（12）内的凹陷弹性片（32）上，且螺纹通孔（100）和相对应的螺纹槽（200）内通过螺栓杆（4）固定。