[发明专利]一种高热导率氮化硅陶瓷及其制备方法在审
| 申请号： | 201810612015.1 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108585881A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 叶枫;杨春萍;张标;叶健;刘强;高晔;叶凯 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11473 | 代理人： | 闫冬;段守富 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高热导率氮化硅陶瓷及其制备方法，用以解决现有热导率偏低的技术问题，通过将氮化硅粉进行脱氧处理、自然冷却，并将所得氮化硅粉体研磨过筛；与烧结助剂在混合介质的作用下混合，混合结束后干燥、过筛，得到粉料；压制成型，得到氮化硅陶瓷生坯；最后经气压烧结，得到氮化硅陶瓷材料，与现有技术比较，通过对氮化硅粉体的脱氧处理，使得原始粉料含氧量更低，在烧结过程中降低晶格氧含量程度更高，更有利于避免声子散射，从而提高氮化硅陶瓷的热导率，制备的氮化硅陶瓷具有高热导率、良好的抗热震性能和耐高温性能，使用安全，是一种具有优良的力、热、电综合性能的氮化硅陶瓷基板材料。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化硅陶瓷 高热导率 制备 氮化硅粉体 脱氧处理 热导率 粉料 过筛 氮化硅陶瓷材料 氮化硅陶瓷基 抗热震性能 耐高温性能 氮化硅粉 混合介质 气压烧结 烧结过程 烧结助剂 声子散射 综合性能 含氧量 研磨 板材料 晶格氧 生坯 | ||
【主权项】：
1.一种高热导率氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，第一步，将氮化硅粉进行脱氧处理、自然冷却，并将所得氮化硅粉体研磨过筛；第二步，将第一步所述氮化硅粉体与烧结助剂在混合介质的作用下混合，混合结束后干燥、过筛，得到粉料；第三步，将所述粉料压制成型，得到氮化硅陶瓷生坯；第四步，将所述氮化硅陶瓷生坯进行气压烧结，得到氮化硅陶瓷材料。
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