[发明专利]通用型WPE优化模型及其提取方法有效
| 申请号： | 201810612102.7 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108875200B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 张瑜;商干兵 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通用型WPE优化模型及其提取方法，包括如下步骤：第一步，设计不同WPE尺寸的器件结构；第二步，测量器件的数据；第三步，建立器件基本模型；第四步，对器件基本模型进行曲线拟合，如果拟合结果与器件数据相符，则进入第五步，否则修改器件基本模型的参数并重复该步骤；第五步，建立不同WPE尺寸的XY两个方向相关的距离函数模型；第六步，对距离函数模型进行曲线拟合，如果拟合结果与器件相符，则进入第七步，否则调整距离函数模型的参数并重复该步骤；第七步，根据器件基本模型和距离函数模型得到WPE优化模型并验证。本发明克服了原有的WPE模型不能同时兼顾X，Y方向的趋势调节，能更准地提取WPE对器件带来的影响，提高WPE模型的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 通用型 wpe 优化 模型 及其 提取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通用型WPE优化模型的提取方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，设计不同WPE尺寸的器件结构；第二步，测量器件的数据；第三步，建立器件的基本模型；第四步，对器件基本模型进行常规模型曲线拟合，如果拟合结果与器件数据相符，则进入第五步，否则修改器件基本模型相关的参数并重复该步骤；第五步，建立不同WPE尺寸的XY两个方向相关的距离函数模型；第六步，对距离函数模型进行曲线拟合，如果拟合结果与器件数据相符，则进入第七步，否则调整距离函数模型的参数，并重复该步骤；第七步，利用器件基本模型和距离函数模型得到新的WPE优化模型，并验证器件的WPE优化模型。
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