[发明专利]一种通过纳米剪纸形成偏振旋转器的制备方法有效
| 申请号： | 201810614449.5 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110609347B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李家方;刘之光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 薛峰;康正德 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通过纳米剪纸形成偏振旋转器的制备方法，属于三维微纳加工技术和三维器件技术领域。其包括步骤:制备一悬空的导电薄膜；对所述导电薄膜切割，得到至少一个导电薄膜构成局部连接的、多条非接触曲线构成的非封闭二维通透结构；采用离子束对非封闭二维通透结构所在的区域进行帧扫描式的整体辐照，以形成拱起及扭曲的三维曲面微纳结构，即得到构成偏振旋转器的三维曲面结构单元；将三维曲面结构单元按预定的周期排列，以得到偏振旋转器。本发明提供的制备方法，能解决现有技术中三维微纳结构形貌简单，无法实现丰富的三维微纳结构制备的不足，具有工艺简单、易于实现、可重复制作的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 纳米 剪纸 形成 偏振 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过纳米剪纸形成偏振旋转器的制备方法，包括以下步骤：/nS1，制备一悬空的导电薄膜；/nS2，对所述导电薄膜切割，得到至少一个导电薄膜构成局部连接的、多条非接触曲线构成的非封闭二维通透结构；/nS3，采用离子束对非封闭二维通透结构所在的区域进行帧扫描式的整体辐照，以形成拱起及扭曲的三维曲面微纳结构，即得到构成偏振旋转器的三维曲面结构单元；/nS4，将三维曲面结构单元按预定的周期排列，以得到偏振旋转器。/n
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