[发明专利]柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备

摘要

本发明公开了一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。该柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备实时对机械从动进行监控，卷对卷速度张力自动纠正，线性源加热单位分开保护，加热温度在线监控，实时控制，同时可通过扩散泵和机械泵组逐级抽真空，保证工艺环境的稳定性。

主权项

1.一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备，包括腔体和控制单元，控制单元连接控制中心，腔体包括上腔体和下腔体，上腔体和下腔体压合密闭，其特征是，所述腔体内设置有机械传动单元、真空单元、加热单元、冷却单元和薄膜沉积源单元，机械传动单元包括放卷辊、收卷辊和若干传动辊，上腔体内转动连接放卷辊、收卷辊和若干传动辊，放卷辊和收卷辊末端固定连接伺服电机，放卷辊和收卷辊间若干传动辊连成输送通道，薄膜沉积源单元包括线性源盒和XRF检测装置，下腔体内对应输送通道分别设置有多个线性源盒，输送通道的中间位置和末端分别对应设置有XRF检测装置，加热单元包括加热器和温度传感器，输送通道上位于线性源盒对应位置分别设置有温度传感器，每个线性源盒上端开口，每个线性源盒内设置有线性源，每个线性源底部设置有加热器，控制单元通过导线连通伺服电机、XRF检测装置、温度传感器、加热器、真空单元和冷却单元。