[发明专利]混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器有效
| 申请号： | 201810618535.3 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108831879B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 邹泽亚 | 申请（专利权）人： | 杭州国翌科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L31/101 |
| 代理公司： | 33246 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑娴雅 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器，沿光线入射的方向依次设置有：MEMS光学滤波或干涉芯片，在MEMS光学滤波或干涉芯片之下设置有双谱段多光谱红外探测器单元或阵列，在双谱段多光谱红外探测器单元或阵列之下设置有信号处理芯片或读出电路芯片，信号处理芯片或读出电路芯片完成探测器信号输出和工作点配置，并实现MEMS芯片电源输入调制。本发明实现了灵巧化的单片式宽谱段多光谱探测，而且，这种多光谱探测的光谱分辨率和调制灵活性远远优于其它片上集成方式；信号处理芯片或读出电路芯片与多光谱探测器的混合集成，既可实现产品芯片化，利于发展便携式光谱传感应用，而且可制作多光谱焦平面图像传感器，满足低成本、灵巧型成像光谱仪的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 多光谱 红外探测器 双谱段 读出电路芯片 信号处理芯片 光学滤波 集成型 短波 调制 探测 平面图像传感器 芯片 成像光谱仪 光谱分辨率 完成探测器 产品芯片 电源输入 光线入射 混合集成 片上集成 信号输出 依次设置 应用需求 单片式 低成本 工作点 宽谱段 干涉 探测器 传感 光谱 配置 应用 制作 | ||
【主权项】：
1.一种混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器，其特征在于，沿光线入射的方向依次设置有：/nMEMS光学滤波或干涉芯片，在所述MEMS光学滤波或干涉芯片之上形成有电极；/n在所述MEMS光学滤波或干涉芯片之下设置有双谱段多光谱红外探测器单元或阵列，所述双谱段多光谱红外探测器与MEMS光学滤波或干涉芯片通过贴装或耦合方式连接；/n在所述双谱段多光谱红外探测器单元或阵列之下设置有信号处理芯片或读出电路芯片，所述双谱段多光谱红外探测器与信号处理芯片或读出电路芯片通过引线键合或倒装焊的方式连接，所述信号处理芯片或读出电路芯片部分暴露形成有电极；/n所述MEMS光学滤波或干涉芯片的电极与信号处理芯片或读出电路芯片的电极之间通过引线互联；/n所述信号处理芯片或读出电路芯片具有探测器信号输出端口以及MEMS芯片电源输入调制端口。/n
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