[发明专利]一种金刚石复合薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201810619512.4 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108517520A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李新宇;张学良;齐维滨;王宏 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C25D3/12;B23K37/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 舒畅 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及金刚石复合材料技术领域，尤其是涉及一种金刚石复合薄膜及其制备方法和应用。所述金刚石复合薄膜，包括金刚石和依次沉积在金刚石表面的钛层、钼层和镍层。所述制备方法，包括如下步骤：在金刚石表面依次沉积形成钛层、钼层和镍层，即得所述金刚石复合薄膜。本发明通过在金刚石表面沉积钛层、钼层和镍层，在金刚石表面形成钛钼镍金属化结构体系，提高金刚石复合薄膜的抗拉强度同时赋予金刚石良好的焊接高强和气密性能，满足作为窗口材料的高强度、低损耗、气密焊接性能好等技术要求，可用于大功率电真空器件的输出窗。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 复合薄膜 金刚石表面 镍层 钼层 制备方法和应用 钛层 沉积 金刚石复合材料 电真空器件 金属化结构 沉积钛层 窗口材料 技术要求 气密焊接 低损耗 输出窗 可用 制备 钼镍 焊接 赋予 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石复合薄膜，其特征在于，包括金刚石和依次沉积在金刚石表面的钛层、钼层和镍层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810619512.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
