[发明专利]液态金属场效应晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201810620364.8 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108550629A | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李倩;刘静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种液态金属场效应晶体管及其制备方法。该液态金属场效应晶体管包括柔性衬底、液态金属栅极、介电层、半导体层、液态金属源极和液态金属漏极；液态金属栅极间隔设置于柔性衬底的上部，介电层覆盖于液态金属栅极的上表面，半导体层、液态金属源极和液态金属漏极叠设于介电层的上部，液态金属源极通过半导体层与液态金属漏极连接。本发明实施例提供的液态金属场效应晶体管及其制备方法，通过在柔性衬底上设置液态金属栅极、液态金属源极和液态金属漏极，有效地利用了液态金属的柔软性，使得液态金属场效应晶体管具有良好的柔性性能，能够在弯曲以及拉伸状态下稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 液态金属 场效应晶体管 漏极 源极 半导体层 介电层 衬底 制备 拉伸状态 栅极间隔 柔软性 上表面 有效地 叠设 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种液态金属场效应晶体管，其特征在于，包括柔性衬底、液态金属栅极、介电层、半导体层、液态金属源极和液态金属漏极；液态金属栅极间隔设置于柔性衬底的上部，介电层覆盖于液态金属栅极的上表面，半导体层、液态金属源极和液态金属漏极叠设于介电层的上部，液态金属源极通过半导体层与液态金属漏极连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院理化技术研究所，未经中国科学院理化技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810620364.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有表面电荷区结构的功率器件
- 下一篇：一种二极管及其制作方法
- 同类专利
- 专利分类
