[发明专利]一种柱面面形干涉检测装置

摘要

本发明属于面形检测技术领域，具体为一种柱面面形干涉检测装置。本发明装置包括4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元、数据处理单元等；由4D干涉仪出发的平行光线，经过光学扩束准直单元进行扩束后，到达环形光线转换单元；平行光线在环线光束转换单元中通过内外锥面镜转换为360°环形光线；当360°环形光线会聚在待测圆柱体的轴线上时，光线经过待测圆柱体外表面反射后携带着面形信息返回到环形光束转换单元转换成平行光线，平行光线经过光学扩束准直单元返回到4D干涉仪中形成干涉图，实时显示在液晶屏幕中；数据处理单元对干涉图进行处理，得到待测圆柱面的面形数据并显示在液晶屏幕中。本发明装置结构简单紧凑，可以实现对圆柱体外表面的面形精确检测。

主权项

1.一种柱面面形干涉检测装置，其特征在于，包括4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元、数据处理单元、五维精密调整装置、光学隔震平台、液晶屏幕；其中，4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元及待测圆柱件同轴布置，且通过五维精密调整装置布置在光学隔振平台上；4D干涉仪与数据处理单元和液晶屏幕相连接；其中，环形光线转换单元由一个45度锥面镜及两个环形90度内锥面镜和平行玻璃构成；平行玻璃双面镀有增透膜，45度锥面镜通过平行玻璃固定在环形光线转换单元中部；两个环形90度内锥面镜固定在平行玻璃两端部；4D干涉仪发出的平行光经过光学扩束准直单元的扩束准直后到达环形光线转换单元，在环形光线转换单元中，平行光线通过45度锥面镜转换为环形发散光束，再通过两个环形内锥面镜折反形成360°环形光线，最后通过待测圆柱件反射后回到4D干涉仪中，形成干涉图并实时显示在液晶屏幕上，数据处理单元对干涉图进行处理，得到待测面的面形数据并显示在液晶屏幕中。