[发明专利]一种硬质薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种硬质薄膜的制备方法，属于硬质薄膜技术领域。本发明采用离子氮化技术和溅射成膜技术，在硬质合金表面形成氮化层，增强硬质薄膜的耐磨损性能和与基体的结合强度；本发明采用直接溶胶填充法将多孔氧化铝模板浸泡在硅溶胶中，使硅溶胶沉积在多孔氧化铝模板的孔壁上，制得纳米二氧化硅模板，在氧气气氛下，制得非对称纳米模板，以非对称纳米模板中二氧化硅、二氧化钛、氧化铝为靶材，通过溅射成膜技术，制取的膜层平整，膜层和基体的附着力强，溅射镀膜密度高，针孔少，且膜层的纯度较高，可控性和重复性好，二氧化硅和二氧化钛合用，溅射的膜层活性稳定，提高耐候性，通过Ar+辉光放电效应进行溅射清洗，减少大颗粒污染。

主权项

1.一种硬质薄膜的制备方法，其特征在于，其具体步骤为：（1）将多孔氧化铝在硅溶胶中浸泡干燥，得纳米模板，将纳米模板固定在镀膜机中，在氧气气氛下，以二氧化钛为蒸发源，对纳米模板进行镀膜，得非对称纳米模板；（2）将硬质合金打磨抛光后用丙酮超声清洗，再用无水乙醇超声清洗后吹干，渗氮处理，得预处理硬质合金；（3）将预处理硬质合金置于离子镀膜机中，通过Ar+辉光放电效应进行溅射清洗；（4）控制基材偏压为‑300～‑200V，以非对称纳米模板为靶材，溅射成膜，得硬质薄膜。