[发明专利]磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法在审
| 申请号： | 201810627876.7 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN108516519A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;姚富荣;王阳俊;刘吉柱;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215104 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，磁控模块产生周期变化的磁场；电源模块，电源模块与第一电极和第二电极电性连接；加热装置，加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，驱动装置与第一电极连接，驱动装置驱动第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。该方法先设置磁控介质阻挡放电阳极键合系统的相关参数，然后通过驱动装置使第一电极位于第一位置，再通过磁控模块对玻璃器件和硅器件进行放电预处理，最后使第一电极位于第二位置，进行阳极键合。其将磁控强化、预处理放电和阳极键合三者一体化控制，最终形成多能场耦合键合，实现低温高效阳极键合。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控 第一电极 阳极键合 驱动装置 介质阻挡放电 预处理 第二电极 电源模块 加热装置 工作台 放电 一体化控制 玻璃器件 产生周期 第二位置 第一位置 电性连接 平行设置 上下移动 相关参数 移动区域 硅器件 耦合键 键合 能场 竖直 磁场 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统，其特征在于，包括：工作台，所述工作台包括平行设置的第一电极和第二电极；磁控模块，所述磁控模块产生周期变化的磁场，以促进所述第一电极和第二电极之间的粒子运动；电源模块，所述电源模块与所述第一电极和第二电极电性连接；加热装置，所述加热装置用于提供键合所需温度；驱动装置，所述驱动装置与所述第一电极连接，所述驱动装置驱动所述第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学，未经苏州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810627876.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
