[发明专利]一种质谱检出限的检测装置及其检测方法

摘要

一种高精度质谱检出限的检测装置及其检测方法，其中，所述检测装置包括，待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀；检测方法包括：以空气中稀有气体同位素浓度为检测目标，实现对高精度质谱仪检出限的检测。本发明的优点为，通过采用本发明检测装置，实现了利用空气中的低浓度稀有气体同位素对高精度质谱仪检出限的检测工作，解决了不易获得低浓度标准检测气体的问题，此外，相比已有的技术成果，本发明的一种高精度质谱检出限的检测装置及其检测方法简单易行，通过一次有效的测试，即可直观可比地获得检出限的数量级；通过简单地计算，即可精确可靠地获得四极质谱仪的最小可检浓度和最小可检分压。

主权项

1.一种高精度质谱检出限的检测装置，其特征在于，包括：待测高精度质谱仪、真空腔室、金属细管、大气采样阀以及金属毛细管，其中，所述待测高精度质谱仪与所述真空腔室的第一端密封连接且所述待测高精度质谱仪的检测端伸入所述真空腔室内；所述真空腔室的第二端与所述大气采样阀的第一端密封连接；所述金属细管位于所述真空腔室内，其第一端与所述检测端连通，其第二端与所述大气采样阀的第一端连通；所述大气采样阀的第二端与所述金属毛细管的第一端连通；所述金属毛细管位于所述真空腔室外，其第二端处具有空气过滤器。