[发明专利]一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置及测量方法在审

专利信息
申请号: 201810633678.1 申请日: 2018-06-20
公开(公告)号: CN108760568A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 闫超;罗立平;赵国华;刘欢 申请(专利权)人: 核工业理化工程研究院
主分类号: G01N9/00 分类号: G01N9/00
代理公司: 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 代理人: 李薇;田阳
地址: 300180 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置及测量方法,所述测量装置包括沉积板、承托板、镀膜样片和支撑组件,所述沉积板和承托板固定在所述支撑组件上,所述沉积板上设有呈矩阵分布的用于放置镀膜样片的安置孔,所述承托板上设有与所述安置孔一一对应的承托孔,所述镀膜样片的面积大于所述承托孔的面积并小与所述安置孔的面积。本发明利用机械结构测量原子蒸汽空间密度分布,结构简单,测量方法简便,测量结果可靠性高。
搜索关键词: 测量装置 密度分布 安置孔 沉积板 承托板 镀膜 原子蒸汽 支撑组件 测量 承托 测量原子 机械结构 矩阵分布 蒸汽空间
【主权项】:
1.一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置,其特征在于:包括沉积板、承托板、镀膜样片和支撑组件,所述沉积板和承托板固定在所述支撑组件上,所述沉积板上设有呈矩阵分布的用于放置镀膜样片的安置孔,所述承托板上设有与所述安置孔一一对应的承托孔,所述镀膜样片的面积大于所述承托孔的面积并小与所述安置孔的面积。
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