[发明专利]具扩散阻障层及抗侵蚀层的多层涂层在审
| 申请号： | 201810637499.5 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN108531907A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | D·芬威克;邬笑炜;J·Y·孙 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于制品的表面的多层涂层包含扩散阻障层和抗侵蚀层。扩散阻障层可以是氮化物膜，包括、但不限于TiNx、TaNx、Zr3N4和TiZrxNy。抗侵蚀层可以是稀土氧化物膜，包括、但不限于YF3、Y2O3、Er2O3、Al2O3、ZrO2、ErAlxOy、YOxFy、YAlxOy、YZrxOy和YZrxAlyOz。扩散阻障层和抗侵蚀层可利用薄膜沉积技术沉积于制品的表面上，包括、但不限于ALD、PVD和CVD。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散阻障层 抗侵蚀层 多层涂层 薄膜沉积技术 稀土氧化物 氮化物膜 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种多层涂层，包含：扩散阻障层，选自由TiNx、TaNx、Zr3N4和TiZrxNy所组成的群组；及抗侵蚀层，包含YZrxOy，其中所述抗侵蚀层覆盖所述扩散阻障层。
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