[发明专利]曝光装置以及物品的制造方法

摘要

本发明涉及曝光装置及物品的制造方法。提供曝光装置，具有：载置台，保持基板使该基板移动；控制部，控制载置台；第1测量部，在被载置台保持的基板的拍摄区域到达对拍摄区域曝光的曝光区域之前测量拍摄区域的高度方向的位置；第2测量部，先于第1测量部而测量拍摄区域的高度方向的位置，控制部通过用于根据由第2测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第1测量值来使基板在高度方向上移动的第1驱动、用于根据接着第1驱动而由第1测量部测量拍摄区域的高度方向的位置而得的第2测量值和第1测量值来使基板在高度方向上移动的第2驱动控制载置台，以使在拍摄区域到达曝光区域之前使被载置台保持的基板的高度方向的位置成为最终目标位置。

主权项

1.一种曝光装置，一边使掩模和基板移动一边曝光所述基板，从而将图案转印到所述基板上，所述曝光装置的特征在于，具有：载置台，保持所述基板使该基板移动；控制部，控制所述载置台；第1测量部，在被所述载置台保持的所述基板的拍摄区域到达对所述拍摄区域进行曝光的曝光区域之前，测量所述拍摄区域的高度方向的位置；以及第2测量部，先于所述第1测量部而测量所述拍摄区域的所述高度方向的位置，所述控制部通过第1驱动和第2驱动控制所述载置台，以使在所述拍摄区域到达所述曝光区域之前使被所述载置台保持的所述基板的所述高度方向的位置成为最终目标位置，其中，该第1驱动用于根据由所述第2测量部测量所述拍摄区域的所述高度方向的位置而得到的第1测量值来使所述基板在所述高度方向上移动，该第2驱动接着所述第1驱动，该第2驱动用于根据由所述第1测量部测量所述拍摄区域的所述高度方向的位置而得到的第2测量值和所述第1测量值来使所述基板在所述高度方向上移动。