[发明专利]一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201810642921.6 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108444651A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 邝刘伟;江林志;陈哲;余飞杨;郭成明;任亮 | 申请（专利权）人： | 中国核动力研究设计院 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法，内靶管压氦容器，内靶管压氦容器一端与电磁阀上端连接；电磁阀下端与四通管一端和波纹管一端均连接，四通管另外三端分别连接内靶管压氦容器、氦气瓶和空压机；波纹管另一端与同位素靶件压氦容器连接；第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器和同位素靶件检漏容器，第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器的一端均通过电磁阀与三通管的两端连接，三通管的另一端通过氦质谱检漏仪连接口与氦质谱检漏仪连接；同位素靶件检漏容器上设有3个KF接头，实现同位素靶件氦质谱泄漏快速检测，建立同位素靶件氦质谱泄漏快速检测方法，改进和完善同位素靶件制作工艺，保障同位素靶件质量。 | ||
| 搜索关键词： | 同位素靶 靶管 检漏容器 氦容器 电磁阀 氦质谱泄漏检测 氦质谱检漏仪 快速检测 波纹管 氦质谱 三通管 四通管 泄漏 制作工艺 氦气瓶 空压机 连接口 检测 上端 三端 下端 改进 | ||
【主权项】：
1.一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置，其特征在于，所述装置包括：压氦系统和检漏系统，压氦系统包括内靶管压氦容器，内靶管压氦容器一端与电磁阀上端连接；电磁阀下端与四通管一端和波纹管一端均连接，四通管另外三端分别连接同位素靶件压氦容器、氦气瓶和空压机，氦气瓶和空压机的连通管上均设有电磁阀；波纹管另一端与同位素靶件压氦容器连接；检漏系统包括：第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器和同位素靶件检漏容器，第一内靶管检漏容器、第二内靶管检漏容器的一端均通过电磁阀与三通管的两端连接，三通管的另一端通过氦质谱检漏仪连接口与氦质谱检漏仪连接；同位素靶件检漏容器上设有3个KF接头，其中一个KF接头用于连接氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪用于对同位素靶件进行氦质谱泄漏检测；其中一个KF接头用于连接真空计，真空计实时显示真空度；其中一个KF接头用于连接标准漏孔，标准漏孔用于对检漏系统进行校准。
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