[发明专利]一种用于磁控溅射镀膜的基片台有效
| 申请号： | 201810643700.0 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108611615B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;龚俊;彭立波;罗超;范江华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜的基片台，包括内部带控温液体流道的基片座、以及一端与基片座相连的旋转轴组件，所述旋转轴组件包括由内至外依次布置的内轴、外轴以及隔热套管，所述内轴为中空结构并与所述控温液体流道的入口连通，所述外轴与所述内轴之间具有控温液体回流间隙，所述控温液体流道的出口与所述控温液体回流间隙连通，所述隔热套管与所述外轴之间具有间隙、且隔热套管两端与所述外轴密封连接，所述隔热套管上设有抽真空接口。本发明具有有利于减少热量损失，便于控温等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 镀膜 基片台 | ||
【主权项】：
1.一种用于磁控溅射镀膜的基片台，包括内部带控温液体流道(1)的基片座(2)、以及一端与基片座(2)相连的旋转轴组件(3)，其特征在于：所述旋转轴组件(3)包括由内至外依次布置的内轴(31)、外轴(32)以及隔热套管(33)，所述内轴(31)为中空结构并与所述控温液体流道(1)的入口连通，所述外轴(32)与所述内轴(31)之间具有控温液体回流间隙(34)，所述控温液体流道(1)的出口与所述控温液体回流间隙(34)连通，所述隔热套管(33)与所述外轴(32)之间具有间隙、且隔热套管(33)两端与所述外轴(32)密封连接，所述隔热套管(33)上设有抽真空接口(331)。
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