[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201810645011.3 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109104807B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 林大辅;金子健吾;小泉克之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减少针对噪声的每个频率重新制作滤波器的功夫的等离子体处理装置。滤波器(102(1))具有空芯线圈(104(1))、外导体以及可动件(120(1)～120(4))。空芯线圈(104(1))具有固定的口径和固定的线圈长度。外导体为筒形，收容或包围空芯线圈(104(1))，与空芯线圈(104(1))组合而形成以多个频率进行并联谐振的分布常数线路。可动件(120(1)～120(4))配置于一个或多个有效区间内，用于变更空芯线圈(104(1))的各个卷线间隙，所述有效区间是在滤波器(102(1))的频率‑阻抗特性中使特定的一个或多个并联谐振频率向高频区域侧或低频区域侧产生移位的区间。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，具有经由线路而与进行等离子体处理的处理容器内的规定的电构件电连接的电力系统或信号系统的外部电路，通过设置在所述线路上的滤波器来减弱或阻止从所述电构件朝向所述外部电路进入所述线路的噪声，所述等离子体处理装置的特征在于，所述滤波器具有：线圈，其具有固定的口径和固定的线圈长度；筒形的外导体，其收容或包围所述线圈，与所述线圈组合而形成以多个频率进行并联谐振的分布常数线路；以及可动件，其配置在相对于所述线圈存在于所述线圈的长度方向上的一个或多个有效区间内，用于变更所述线圈的各个卷线间隙，所述有效区间是通过变更所述线圈的卷线间隙而在所述滤波器的频率‑阻抗特性中使特定的一个或多个并联谐振频率向高频区域侧或低频区域侧产生位移的区间。
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