[发明专利]一种柔性无胶基材制造设备

摘要

本发明公开了一种柔性无胶基材制造设备，包括真空室、沉积设备、分子泵、注入设备、放卷轴、膜基材、滚轴、支撑座、厚度检测装置、CCD成像装置、收卷轴、传动机构和除尘机构，所述膜基材的一端缠绕在放卷轴上，且另一端绕过滚轴与收卷轴连接，所述真空室的内部设置有两注入设备，且均位于放卷轴的两侧，所述真空室的内部设置有传动机构，所述真空室的内部设置有四套沉积设备，且沉积设备的一侧出口均设置有CCD成像装置，所述真空室的内部均匀设置有分子泵，该发明，膜层致密性好，沉积速率高，成本低，能实现大规模的卷对卷生产，而且能同时兼顾电阻率和耐腐蚀性能，并且具有除尘和减振降噪的作用。

主权项

1.一种新型柔性无胶基材制造设备，包括真空室(1)、沉积设备(2)、分子泵(3)、注入设备(4)、放卷轴(5)、膜基材(6)、滚轴(7)、支撑座(8)、厚度检测装置(9)、CCD成像装置(10)、收卷轴(11)、传动机构(12)和除尘机构(13)，其特征在于：所述真空室(1)的内部依次安装有放卷轴(5)、滚轴(7)和收卷轴(11)，所述膜基材(6)的一端缠绕在放卷轴(5)上，且另一端绕过滚轴(7)与收卷轴(11)连接，所述真空室(1)的内部设置有两注入设备(4)，且均位于放卷轴(5)的两侧，所述真空室(1)的内部设置有传动机构(12)，所述真空室(1)的内部设置有四套沉积设备(2)，且沉积设备(2)的一侧出口均设置有CCD成像装置(10)，所述真空室(1)的内部均匀设置有分子泵(3)，所述收卷轴(11)的一侧设置有厚度检测装置(9)；所述真空室(1)的一侧设置有除尘机构(13)；所述除尘机构(13)包括进水管(130)、引风机(131)、进气管(132)、除尘箱(133)、第一滤网(134)、第二滤网(135)、水泵(136)、水槽(137)、回水管(138)、第三滤网(139)、喷头(1311)和排气管(1312)，所述真空室(1)的一侧通过进气管(132)与引风机(131)连接，所述引风机(131)通过进气管(132)与除尘箱(133)连接，所述除尘箱(133)的顶部通过螺栓固定有排气管(1312)，所述除尘箱(133)的内部通过设置有第一滤网(134)，所述除尘箱(133)的一侧通过回水管(138)与水槽(137)连接，且回水管(138)的一端设置有第二滤网(135)，所述水槽(137)的内部设置有第三滤网(139)，所述水槽(137)的一侧设置有水泵(136)，所述水泵(136)的一侧通过螺栓固定有进水管(130)，所述进水管(130)的穿过除尘箱(133)与内部设置的喷头(1311)连接；所述真空室(1)的底部设置有支撑座(8)；所述支撑座(8)包括连接板(81)、支撑柱(82)、套筒(83)、弹簧(84)、支撑板(85)、滑块(86)和限位板(87)，所述支撑板(85)的顶部安装有套筒(83)，所述套筒(83)的底部内壁通过弹簧(84)与限位板(87)连接，所述限位板(87)的两侧均安装有滑块(86)，所述限位板(87)的顶部通过螺栓固定有支撑柱(82)，所述支撑柱(82)穿过套筒(83)与连接板(81)连接。