[发明专利]一种四腔薄膜反馈式静压导轨滑块

摘要

本发明公开了一种四腔薄膜反馈式静压导轨滑块，包括滑块本体，所述滑块本体的左右两端均通过固定螺栓固定安装有薄膜反馈装置，且滑块本体的上端开设有进油口。该装置是用于组成静压导轨的模块化组件，并且薄膜反馈装置相当于节流器能够利用该设备对四个油腔内液压油的流量进行调节，并且液压油的压力变化也能够通过油压检测传感器进行检测，从而观察到该装置安装时的误差状况，并进行针对性的误差调整，从而大大的提高导轨的装配精度，而且保障了安装完整的静压导轨在各处均具有相同的油膜刚度和特性，而且由于利用弹性薄膜片构成的节流器的位置与前侧油腔、后侧油腔、抬升油腔和保持油腔的位置很近，也能够有效的缩短油路，保障动态刚度。

主权项

1.一种四腔薄膜反馈式静压导轨滑块，包括滑块本体(1)，其特征在于：所述滑块本体(1)的左右两端均通过固定螺栓(9)固定安装有薄膜反馈装置(2)，且滑块本体(1)的上端开设有进油口(6)，所述滑块本体(1)的上表面开设有保压油腔(8)，且滑块本体(1)的下表面开设有举升油腔(14)，所述滑块本体(1)的前面表开设有前侧油腔(7)，且滑块本体(1)的后表面开设有后侧油腔(15)；所述薄膜反馈装置(2)由左至右依次由上盖体(201)、上铜垫(202)、弹性薄膜片(203)、下铜垫(204)和下盖体(205)，所述下盖体(205)内开设有下盖油腔(20)，且下盖体(205)上设置有连通下盖油腔(20)的下盖油腔返流配合孔(13)，所述上盖体(201)包括上盖体本体(2014)，且上盖本体(2014)上开设有上盖油腔(2011)，所述上盖本体(2014)上开设有与上盖油腔(2011)相连的上盖体返流孔(2012)，且上盖本体(2014)上开设有与上盖油腔(2011)相连的上盖体进油孔(2013)，所述下盖体(205)上开设有两通下盖油腔(20)和上盖体进油孔(2013)的进油配合孔(12)，且下盖体(205)上开设有与上盖体返流孔(2012)连通的上盖油腔返流配合孔(11)，所述上盖油腔(2011)和下盖油腔(20)之间通过弹性薄膜片(203)完全隔离；所述滑块本体(1)的左侧开设有连通保压油腔(8)的第一返流通道(3)，且滑块本体(1)上开设有连通举升油腔(14)的第二返流通道(5)，所述滑块本体(1)上开设有连通前侧油腔(7)的第三返流通道(18)，且滑块本体(1)上开设有连通后侧油腔(15)的第四返流通道(17)，所述滑块本体(1)上开设有用于两通举升油腔(14)的第一检测通道(16)，且滑块本体(1)上开设有用于连通前侧油腔(7)的第二检测通道(21)，所述第一检测通道(16)和第二检测通道(21)的末端均安装有油压检测传感器(10)，且滑块本体(1)上开设有与进油口(6)连通的第一进油通道(4)和第二进油通道(19)，位于所述滑块本体(1)左侧的薄膜反馈装置(2)上的上盖油腔返流配合孔(11)、进油配合孔(12)和下盖油腔返流配合孔(13)分别与第二返流通道(5)、第一进油通道(4)和第一返流通道对应连通，且位于所述所述滑块本体(1)右侧的薄膜反馈装置(2)上的上盖油腔返流配合孔(11)、进油配合孔(12)和下盖油腔返流配合孔(13)分别与第三返流通道(18)、第二进油通道(19)和第四返流通道(17)对应连通。