[发明专利]带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片

摘要

一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，包括键合的石英结构和硅结构；石英结构包括石英框架、石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、质量块、输入端和刻蚀间隙组成的平面内差动石英振梁芯片结构；硅结构包括硅框架，硅框架内设有释放槽；石英框架和硅框架完全键合到一起；石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、输入端、质量块和刻蚀间隙完全悬空于释放槽上；输入端、铰链、杠杆、连接杆共同组成杠杆放大机构，质量块受加速度作用产生惯性力时，惯性力通过输入端传递到杠杆，杠杆放大后传递给连接杆，连接杆把力先集中再均分到石英音叉的两根振梁，影响振梁的频率，通过两端振梁的频率差测得加速度；本发明具有灵敏度高，体积小等优点。

主权项

1.一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，其特征在于：包括键合的石英结构(1)和硅结构(2)；所述的石英结构(1)为石英框架(3)、石英音叉(4)、连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、质量块(8)、输入端(9)和刻蚀间隙(10)构成的平面内差动式石英振梁芯片结构，其中石英框架(3)作为整体结构的支撑部分和与硅结构的键合部分，为石英结构(1)的固定部分，其余为悬空可动结构；石英音叉(4)一端固定在石英框架(3)上，另一端与连接杆(5)相连，并通过杠杆(6)、输入端(9)与质量块(8)相连；杠杆(6)通过铰链(7)与石英框架(3)相连，连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、输入端(9)共同组成微杠杆放大机构；所述的硅结构(2)由硅框架(11)和释放槽(12)组成，硅框架(11)为整体结构的支撑结构，释放槽(12)为石英可动结构释放区域；所述的石英框架(3)和硅框架(11)完全键合到一起；所述的石英结构(1)中石英音叉(4)、连接杆(5)、杠杆(6)、铰链(7)、质量块(8)、输入端(9)和刻蚀间隙(10)完全悬空于硅结构(2)的释放槽(12)上。