[发明专利]一种三轴磁场传感器

摘要

本发明涉及一种三轴磁场传感器。本发明包括X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器。X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器均设置在衬底上，X/Y双轴磁场传感器与Z轴磁场传感器位置相邻；X/Y双轴磁场传感器的两组惠斯通电桥结构形成两个输出，实现X/Y轴磁场测量。Z轴磁场传感器在Z轴磁场作用下，产生两个方向不同的水平分量漏磁磁场，通过电桥感知并输出，实现Z轴磁场测量。本发明可实现单芯集成，三轴磁场传感器可实现单芯工艺层次的集成，即所有的磁敏电阻单元可以在同一种工艺中同时制成，集成度高、稳定性好、抗干扰能力强。

主权项

1.一种三轴磁场传感器，包括X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器；其特征在于：所述的X/Y双轴磁场传感器和Z轴磁场传感器均设置在衬底上，X/Y双轴磁场传感器与Z轴磁场传感器位置相邻；用于测量三轴磁场；所述的X/Y双轴磁场传感器包括双轴磁通引导器；双轴磁通引导器设置在衬底上，双轴磁通引导器外部框架为方环形或圆环形结构，两条对角线或两条垂直的对称轴将双轴磁通引导器分为四个区域；每个区域均开有磁敏电阻放置间隙；每个区域设置有一对磁敏电阻，磁敏电阻均设置在衬底上，一个磁敏电阻被双轴磁通引导器覆盖，另一磁敏电阻设置在磁敏电阻放置间隙内；检测同向磁场的两对磁敏电阻连成一组惠斯通电桥结构，两组惠斯通电桥形成两个输出；分别测量X轴和Y轴磁场分量；所述的Z轴磁场传感器包括单轴磁通引导器和两对磁敏电阻，两对磁敏电阻分别设置在单轴磁通引导器的两对边；两对磁敏电阻连成一组惠斯通电桥结构，形成一个输出，测量Z轴磁场分量；在Z轴磁场作用下，单轴磁通引导器两边边缘处产生具有不同方向水平分量的漏磁场，被分别位于两侧的两对面内敏感的磁敏电阻所感知，并由惠斯通电桥进行输出。