[发明专利]一种声表面波单端对谐振器有效
| 申请号： | 201810653646.8 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108933579B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘建生;齐晓琳;何世堂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种声表面波单端对谐振器，所述单端对谐振器包括：压电基片、第一叉指换能器、第一反射栅和第二反射栅；第一叉指换能器设置在压电基片上，第一反射栅和第二反射栅的结构相同，且对称的设置在第一叉指换能器的两端；还包括：敏感膜和第二叉指换能器；第二叉指换能器设置在第一反射栅和第二反射栅之间，第二叉指换能器与第一叉指换能器的上下回流条相连接；敏感膜设置在第一叉指换能器和第二叉指换能器的中间位置。本发明的谐振器，通过增加一个叉指换能器，保证了谐振器高品质因子和低损耗的优点，有助于提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。同时在两个叉指换能器之间内置敏感膜，克服敏感膜成膜区域问题，很容易应用到传感器领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波单端对谐振器，包括：压电基片(11)、第一叉指换能器(12)、第一反射栅(13)和第二反射栅(14)；所述第一叉指换能器(12)设置在所述压电基片(11)上，所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)的结构相同，且对称的设置在所述第一叉指换能器(12)的两端；其特征在于，还包括：敏感膜(15)和第二叉指换能器(16)；所述第二叉指换能器(16)设置在所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)之间，所述第二叉指换能器(16)与所述第一叉指换能器(12)的上下回流条(122)相连接；所述敏感膜(15)设置在所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)的中间位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院声学研究所，未经中国科学院声学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810653646.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有改进的电气特征的微机电谐振器
- 下一篇：一种网络舆情信息分析系统
