[发明专利]移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201810657050.5 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109306452B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 渡边一弘;太田明;小野岛升 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸镀装置，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 支承 装置 包含 真空 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。
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