[发明专利]一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片EL不良的方法

摘要

本发明公开了一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种溶液处理，所述溶液为盐酸和水组成的酸性混合液，且混合液中的体积比为盐酸：水＝1:6～1：1，所述盐酸的浓度为36％～38％，并且将湿法黑硅制绒硅片的减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷和测试，本发明提供一种能降低电池片量产的低效比例的有效控制金刚线湿化学黑硅电池片EL不良的方法。

主权项

1.一种有效控制金刚线湿化学黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种溶液处理，所述溶液为盐酸和水组成的酸性混合液，且混合液中的体积比为盐酸：水＝1:6～1:1，所述盐酸的浓度为35％～38％，并且将湿法黑硅制绒硅片的减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷和测试。