[发明专利]用于提供均匀气流的设备与方法

摘要

本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。

主权项

1.一种气体分配装置，包括：板，具有前侧表面和背侧表面；形成于所述背侧表面中的凹陷区域，其中，所述凹陷区域具有凹陷表面，该凹陷表面置于与所述背侧表面具有距离之处，且所述凹陷表面与所述前侧表面相对；形成于所述板的所述凹陷表面上的第一气体输送通道，其中，所述第一气体输送通道具有长度；形成于所述板的所述凹陷表面上的第二气体输送通道，其中所述第二气体输送通道具有长度，且所述第二气体输送通道和所述第一气体输送通道沿着所述第二气体输送通道的所述长度彼此相邻定位，沿着所述第一气体输送通道的所述长度间隔开的第一多个孔，其中，所述第一多个孔的每一个从所述前侧表面向所述第一气体输送通道的表面延伸；以及沿着所述第二气体输送通道的所述长度间隔开的第二多个孔，其中，所述第二多个孔的每一个从所述前侧表面向所述第二气体输送通道的表面延伸。