[发明专利]IC芯片的烧录方法在审
申请号: | 201810659653.9 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN108878322A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 吴美珍 | 申请(专利权)人: | 吴美珍 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及芯片生产制造领域。IC芯片的烧录方法,依次包括下述步骤:进料、喷码、烧录和下料。该IC芯片的烧录方法的优点是全自动完成IC芯片的喷码操作和多工位芯片烧录操作,加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 烧录 喷码 加工效率 芯片烧录 芯片生产 多工位 下料 制造 | ||
【主权项】:
1.IC芯片的烧录方法,其特征在于依次包括下述步骤:进料,待加工的IC芯片放在料盘内,料盘叠放在第一叠料装置中,第一升降装置取下第一叠料装置中最底层的料盘,将料盘放在传动皮带装置上;喷码,将料在传动皮带装置上移动至喷码定位装置下方时料盘停止移动,第三升降装置将料盘顶起,喷码定位装置夹紧料盘;喷码机构对被料盘内的IC芯片进行喷码操作,操作完成后,喷码定位装置松开料盘,第三升降装置带动料盘下降至传动皮带装置上;烧录,料盘在传动皮带装置继续移动,直至接触料盘固定装置,料盘固定装置将料盘定位,机械手机构将料盘内的IC芯片搬运直烧录机构,烧录完成后,机械手机构将烧录机构中的IC芯片搬运至传动皮带装置上的料盘内;下料,料盘在传动皮带装置继续移动至第二叠料装置正下方时停止,第二升降装置将传动皮带装置中的料盘顶入第二叠料装置中,从第二叠料装置中取走存放了IC芯片的料盘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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